Yüzey Kaplama Sistemleri
Yüzey kaplama, çeşitli amaçlar doğrultusunda ana malzemeden farklı fiziksel veya kimyasal özelliklere sahip bir yüzey tabakası elde etmek amacıyla uygulanan işlemlere verilen genel isimdir.
Yüzey kaplama işlemlerinin alt kategorilerinden biri olan ince film kaplama tekniği elektronik aygıt ve yarı iletken teknolojisi için hayati öneme sahiptir. Kalınlığı birkaç mikrometreden, birkaç nanometreye kadar olan bu tabakalar yaygın olarak dönel kaplama (spin coating) metoduyla uygulanır. Yüksek hızlarda dönen ana malzeme üzerine eklenen çözelti, merkezkaç kuvveti ve yüzey geriliminin etkisiyle homojen kalınlıkta dağılır. Bu metodun en büyük avantajı çok kısa sürede ve kolay bir şekilde eş dağıtımlı bir ince film tabakası elde edilmesidir.
Dönüş hızındaki dalgalanmalar, solvent buharlaşma hızının sabit tutulmaması, çözeltinin konsantrasyon ve viskozite değerlerinin değişmesi, kaplanacak malzeme yüzeyinin homojen olmaması ve cihazda oluşabilecek kimyasal kirlilikler elde edilen ince film tabakasının kalitesi ve istikrarını etkileyen en önemli faktörlerdendir.