RGA Kütle Spektrometre Sistemleri
Basınç göstergesi vakum odasındaki toplam basıncı söyler, içeride ne olduğunu söylemez. Kalıntı gaz analizörü (RGA) odadaki gazları kütlelerine göre ayırır ve her birinin kısmi basıncını ölçer. Hava kaçağını, su buharını, hidrokarbon kirliliğini ve proses gazını birbirinden ayırt edebilirsiniz.
Bu grupta vakum odasının rutin kontrolünden üretimdeki proses izlemeye, ultra yüksek vakum (UHV) yüzey bilimi deneylerinden füzyon araştırmalarına kadar Hiden Analytical kuadrupol kütle spektrometreleri yer alıyor.
Analizör tipini, örnekleme konfigürasyonunu ve kütle aralığını uygulamanıza göre birlikte netleştiriyoruz.
Hiden Analytical HALO Kalıntı Gaz Analizörleri (RGA)
HALO kalıntı gaz analizörleri (RGA), vakum odanızdaki gaz ve buharları kısmi basınç düzeyinde gerçek zamanlı izler. Hava kaçağını, su buharını, hidrokarbonları ve diğer kirleticileri birbirinden ayırt edebilirsiniz. Elektron çoğaltıcılı algılamayla 2 × 10⁻¹⁴ mbar'a kadar inen kısmi basınçları ölçebilir, oda koşullarındaki değişimi anında görebilirsiniz.
40 yılı aşkın Hiden Analytical kütle spektrometresi deneyimiyle geliştirilen HALO ailesinde genel amaçlı vakum izleme için HALO RGA, UHV ve hızlandırıcı hatları için HAL 201 RC sunulmaktadır.
Hiden Analytical HPR-30 Vakum Prosesi Gaz Analiz Sistemleri
HPR-30, vakum proseslerindeki gaz ve buharları yüksek vakumdan atmosfer basıncına kadar örnekleyerek analiz eden bir kalıntı gaz analizörü (RGA) sistemidir. CVD, ALD, MOCVD, plazma aşındırma ve reaktif sıçratma proseslerinde kaçağı, kirlenmeyi ve proses eğilimlerini üretim sırasında izleyebilirsiniz.
Hiden Analytical'ın 40 yılı aşkın kütle spektrometresi deneyimiyle geliştirilen HPR-30, prosesinize göre üç örnekleme konfigürasyonunda sunulmaktadır. Agresif gazların analizi için üçlü filtreli kuadrupol seçeneği ppb düzeyinde duyarlılık sağlar.
Hiden Analytical HMT Proses Basıncında Kalıntı Gaz Analizörü (RGA)
HMT, 5 × 10⁻³ mbar'a kadar çıkan proses basınçlarında diferansiyel pompalama gerektirmeden doğrudan ölçüm yapabilen çift modlu bir kalıntı gaz analizörüdür (RGA). CVD, PECVD, aşındırma ve PVD proseslerinde proses gazını ve beklenmeyen kirleticileri proses sırasında izleyebilirsiniz.
Proses dışındayken aynı cihaz, geleneksel bir kuadrupol RGA gibi yüksek duyarlıklı RGA modunda çalışır. Böylece proses takibi ve vakum teşhisi tek analizörle yapılır.
Hiden Analytical 3F Serisi Üçlü Filtreli Kuadrupol Kütle Spektrometreleri
3F Serisi, genel amaçlı bir kalıntı gaz analizörünün (RGA) yetmediği yerler için tasarlanmış, yüksek hassasiyetli üçlü filtreli kuadrupol kütle spektrometreleridir. Ana kütle filtresinin önündeki ve arkasındaki yalnız RF ile çalışan filtreler istenmeyen iyonları ayıklar; düşük seviyeli safsızlıkları, yakın kütleli türleri ve yüksek kütleli molekülleri daha net ölçebilirsiniz.
Aile iki koldan oluşur: analitik RGA ve proses uygulamaları için 3F ve 1000 Serisi, UHV TPD gibi hızlı olaylar için puls sayımlı 3F PIC.
Hiden Analytical EPIC / EPIC 1000 Serisi RGA Kütle Spektrometresi
EPIC, moleküler ışın, TPD ve UHV yüzey bilimi deneylerinde kullanılan araştırma sınıfı bir kuadrupol kütle spektrometresidir. Standart kalıntı gaz analizörlerinin (RGA) ötesinde, 5000 amu'ya kadar kütle aralığı, pozitif ve negatif iyon algılama ve 100 ns zaman çözünürlüğü sunar.
Hiden Analytical IDP / IDP 1000 Serisi RGA Kütle Spektrometresi
IDP (iyon desorpsiyon probu), UHV yüzey bilimi deneylerinde yüzeyden ayrılan iyonların, radikallerin ve nötrallerin doğrudan analizi için tasarlanmış bir kuadrupol kütle spektrometresidir.
Hiden Analytical DLS Serisi Füzyon Araştırmaları Kütle Spektrometreleri
DLS Serisi, füzyon araştırmalarında hidrojen ve helyum izotoplarının, döteryumlu bileşiklerin ve hafif gazların gerçek zamanlı analizi için tasarlanmış kuadrupol kütle spektrometreleridir. Eşik iyonlaştırma kütle spektrometrisi (TIMS) ve çift bölgeli çalışma, klasik spektrumda üst üste binen türlerin ayrılmasında kullanılır.
| Aşama | Uygulamanız | İlgili ürün |
|---|---|---|
| Vakum | Vakum odasında kaçağı, su buharını ve hidrokarbon kirliliğini rutin olarak kontrol etmek | HALO |
| Vakum | Ultra yüksek vakum (UHV), hızlandırıcı ve beamline hatlarında gaz izlemek | HALO (HAL 201 RC) |
| Vakum | Moleküler ışın epitaksisi (MBE) odasında arka plan gazlarını izlemek | HALO (HALO 201 MBE) |
| Vakum | Radyasyonlu ortamda kalıntı gaz ölçmek | HALO (HAL 101X RC) |
| Proses | Kimyasal buhar biriktirme (CVD), atomik katman biriktirme (ALD) ve metal-organik CVD (MOCVD) proseslerinde öncülü, yan ürünleri ve kirleticileri izlemek | HPR-30 |
| Proses | Yüksek vakumdan atmosfer basıncına kadar birden çok noktadan örneklemek | HPR-30 (Multi Inlet) |
| Proses | Uçuculuğu düşük yan ürünleri ısıtmalı tek hatla örneklemek | HPR-30 (SGL) |
| Proses | 5 × 10⁻³ mbar'a kadar proses basıncında, diferansiyel pompalama olmadan ölçmek | HMT |
| Proses | Plazma aşındırma ve fiziksel buhar biriktirmede (PVD) proses koşullarını kontrol etmek | HMT · HPR-30 |
| Proses | Agresif gazlarda ppb (milyarda bir) düzeyinde tespit | HPR-30 (3F seçeneği) |
| İz analizi | Büyük bir pikin yanındaki iz safsızlıkları ayırt etmek (komşu pik ayrımı) | 3F |
| İz analizi | 1000–5000 amu aralığındaki yüksek kütleli türleri ölçmek | 3F (1000 Serisi) |
| Yüzey bilimi | UHV ortamında sıcaklık programlı desorpsiyon (TPD) ve hızlı desorpsiyon olayları | 3F PIC · EPIC |
| Yüzey bilimi | Moleküler ışın ve zaman çözümlü deneyler | EPIC |
| Yüzey bilimi | Küme ve nanoparçacık analizi | EPIC (Cluster Series) |
| Yüzey bilimi | Elektronla ve fotonla uyarılmış desorpsiyonda (ESD, PSD) yüzeyden ayrılan iyon, radikal ve nötraller | IDP |
| Füzyon | Hidrojen ve helyum izotoplarını, D₂ / He ayrımını gerçek zamanlı ölçmek | DLS |
Vakum Odanızda Ne Olduğunu Görmek
HALO kalıntı gaz analizörleri vakum odasındaki gazları kısmi basınç düzeyinde, gerçek zamanlı izler. Elektron çoğaltıcılı algılamayla 2 × 10⁻¹⁴ mbar'a kadar inen kısmi basınçları ölçebilir; kaçağı, bakeout sonrası kalan su buharını ve kirlenmeyi rutin kontrolde görebilirsiniz. Ultra yüksek vakum (UHV), hızlandırıcı ve beamline hatları için HAL 201 RC, moleküler ışın epitaksisi (MBE) odaları için HALO 201 MBE sunulmaktadır.
Proses Gazını Üretim Sırasında İzlemek
HPR-30, kimyasal buhar biriktirme (CVD), atomik katman biriktirme (ALD), metal-organik CVD (MOCVD), plazma aşındırma ve reaktif sıçratma proseslerinde gazı yüksek vakumdan atmosfer basıncına kadar örnekler. Prosesinize uyan, üç örnekleme konfigürasyonu arasından seçilir. ALD döngüleri boyunca öncülün tükenişini ve yan ürünlerin oluşumunu izleyebilirsiniz. Agresif gazlar için üçlü filtreli kuadrupol seçeneği tespit sınırını ppb (milyarda bir) düzeyine indirir. Konfigürasyonların ve proses uygulamalarının ayrıntısı belgelerde.
HMT, 5 × 10⁻³ mbar'a kadar proses basıncında diferansiyel pompalama gerektirmeden doğrudan ölçer. Proses dışında aynı cihaz yüksek duyarlıklı RGA moduna geçer; proses takibini ve vakum teşhisini tek analizörle yaparsınız.
İz Safsızlıklarda Komşu Pik Ayrımı
3F Serisi'nde ana kütle filtresinin önünde ve arkasında yalnız RF ile çalışan filtreler bulunur; bu filtreler istenmeyen iyonları ayıklar. Büyük bir pikin yanındaki küçük pikleri ayırt edebilir, iz düzeydeki safsızlıkları güvenilir biçimde ölçebilirsiniz. 1000 Serisi'nde kütle aralığı 5000 amu'ya kadar çıkar.
UHV Yüzey Bilimi
EPIC, moleküler ışın, sıcaklık programlı desorpsiyon (TPD) ve zaman çözümlü deneyler için 5000 amu'ya kadar kütle aralığı, pozitif ve negatif iyon algılama ve 100 ns zaman kapılama sunar; Cluster Series küme ve nanoparçacık analizinde 20.000 amu'ya kadar çıkar. IDP, elektronla ve fotonla uyarılmış desorpsiyon (ESD, PSD) deneylerinde yüzeyden ayrılan iyonları, radikalleri ve nötralleri doğrudan toplar. Puls sayımlı 3F PIC, UHV TPD'de saniyede 1000 veri noktasına kadar ölçüm alır.
Füzyon Araştırmaları
DLS Serisi, tokamak ve torus füzyon araştırmalarında hidrojen ve helyum izotoplarını gerçek zamanlı ayırır. Çift bölgeli çalışma ve eşik iyonlaştırma kütle spektrometrisi (TIMS) ile D₂ ve He gibi aynı nominal kütledeki türler 0,006 amu'ya kadar ayrılır.
Belgeler
