Plazma Karakterizasyon Sistemleri
Plazma aşındırma, sıçratma ve ince film biriktirme proseslerinde sonucu plazmanın kendisi belirler: elektron sıcaklığı ve yoğunluğu, yüzeye ulaşan iyonların enerjisi, gaz fazındaki radikaller ve nötr türler. Plazma karakterizasyon sistemleri bu parametreleri proses sırasında, yerinde ölçer.
Bu grupta Langmuir probundan plazma kütle ve enerji analizörlerine, atmosferik plazmalar için moleküler ışın kütle spektrometresine kadar Hiden Analytical sistemleri yer alıyor.
Prob ya da analizör tipini, kütle ve enerji aralığını plazma kaynağınıza ve prosesinize göre birlikte netleştiriyoruz.
Hiden Analytical ESPion Gelişmiş Langmuir Probu
ESPion, plazma proseslerinde plazma parametrelerini gerçek zamanlı ölçen gelişmiş bir Langmuir probudur. Prob, I-V karakteristiğini sürekli kaydeder; plazma potansiyeli, elektron sıcaklığı, iyon ve elektron yoğunluğu, iyon akısı ve elektron enerji dağılım fonksiyonu (EEDF) otomatik hesaplanır. Plazmanın kararlılığını ve tekrarlanabilirliğini doğrudan izlemek için kullanılır.
Hiden Analytical EQP Serisi Plazma Kütle ve Enerji Analizörleri
EQP Serisi, plazmadaki iyonların, nötrlerin ve radikallerin kütle ve enerji analizini birlikte yapan kuadrupol kütle spektrometreleridir. Pozitif ve negatif iyon enerji dağılımları, plazma reaksiyon kimyası ve nötr türler aynı cihazla ölçülür; HiPIMS, plazma aşındırma ve ince film kaplama proseslerinin geliştirilmesinde kullanılır.
Hiden Analytical HPR-60 MBMS Moleküler Işın Kütle Spektrometresi
HPR-60 MBMS, atmosferik basınçtaki plazmalarda ve reaktif gaz fazında nötr türleri, radikalleri ve iyonları analiz eden bir moleküler ışın kütle spektrometresidir. Numune çok kademeli, diferansiyel pompalanan bir skimmer girişiyle alınır; radikaller duvarlara çarpmadan ve başka türlerle etkileşmeden iyon kaynağına taşınır.
| Aşama | Uygulamanız | İlgili ürün |
|---|---|---|
| Parametre | Plazma potansiyelini, elektron sıcaklığını, iyon ve elektron yoğunluğunu gerçek zamanlı ölçmek | ESPion |
| Parametre | Elektron enerji dağılım fonksiyonu (EEDF) ve iyon akısı | ESPion |
| Parametre | Plazma hacmi boyunca uzaysal homojenlik | ESPion (Z-drive) |
| Parametre | Darbeli plazma ve yüksek güçlü darbeli magnetron sıçratma (HiPIMS) | ESPion · EQP |
| İyon ve radikal | Yüzeye ulaşan pozitif ve negatif iyonların enerji dağılımı (1000 eV'a kadar) | EQP |
| İyon ve radikal | Plazma aşındırma ve atomik katman aşındırmada (ALE) iyonlar ve radikaller | EQP |
| İyon ve radikal | Darbeli plazmalarda 50 ns zaman çözünürlüklü ölçüm | EQP |
| İyon ve radikal | Füzyon araştırmalarında hidrojen izotop plazmaları | EQP (EQP-20) |
| İyon ve radikal | Nötr ve radikal analizi için sade konfigürasyon | EQP (PSM) |
| Atmosferik | Atmosferik basınçtaki plazmalarda nötr türler, radikaller ve iyonlar | HPR-60 MBMS |
| Atmosferik | Plazma tıbbı ve polimer yüzey işleme | HPR-60 MBMS |
| Atmosferik | Plazma-katalizör reaktörlerinde reaksiyon çalışmaları | HPR-60 MBMS |
| Atmosferik | Plazma destekli desorpsiyon iyonlaştırma (PADI) ile yüzey analizi | HPR-60 MBMS |
Plazma Parametrelerini Ölçmek: Langmuir Probu
ESPion, plazmaya yerleştirilen prob üzerinden akım-gerilim (I-V) karakteristiğini sürekli kaydeder. Plazma potansiyeli, elektron sıcaklığı, iyon ve elektron yoğunluğu, iyon akısı ve elektron enerji dağılım fonksiyonu (EEDF) saniyede 15 taramayla otomatik hesaplanır. Z-drive seçeneğiyle probu plazma hacmi boyunca hareket ettirip homojenliği haritalayabilirsiniz; darbeli plazmalar için kapılama devresi standarttır.
Yüzeye Ulaşan İyonlar ve Plazma Kimyası
EQP Serisi plazmadaki iyonların kütlesini ve enerjisini birlikte ölçer. 45° elektrostatik sektörlü enerji analizörü pozitif ve negatif iyonları 1000 eV'a kadar 0,05 eV adımlarla tarar; dahili iyonlaştırıcı nötr türleri ve radikalleri analiz eder. Plazma aşındırma, atomik katman aşındırma (ALE), yüksek güçlü darbeli magnetron sıçratma (HiPIMS) ve DC magnetron sıçratma proseslerinde filmi oluşturan türleri ve enerjilerini görebilirsiniz. Darbeli plazmalarda çok kanallı sayıcı 50 ns zaman çözünürlüğü sağlar.
Atmosferik Basınçta Plazma
HPR-60 MBMS, atmosferik basınçtaki plazmalardan numuneyi çok kademeli, diferansiyel pompalanan bir moleküler ışın girişiyle alır; radikaller duvarlara çarpmadan iyon kaynağına ulaşır. Plazma tıbbı, polimer yüzey işleme, plazma-katalizör reaktörleri ve plazma destekli desorpsiyon iyonlaştırma (PADI) çalışmalarında nötr türler, radikaller ve iyonlar analiz edilir.
Belgeler
