Hiden_Analytical_Plasma_XBS
www.hidenanalytical.com

 

Moleküler Demet Epitaksi (MBE)
Uygulamalarında
deposition takibi

XBS

 

-  Yüksek hassasiyet – minimum deteksiyon  2.5x10-14 mbar kısmı basınç

-  Analiz edilebilen kütle aralığı : 320 ya da 510 atomik kütle birimi (amu)

-  Büyüme faktörünü 0.01 Å/s hassasiyetinde gözlemleyebilme

-  Opsiyonel su soğutmalı shroud

-  Crossbeam iyon kaynağı ile 70°'lik açıda demet kaynağı yakalayabilme

-  Demet kaynağına göre özelleştirilebilir demet inlet teknolojisi

MBE ile yüksek kalitede, homojen ve tekrarlanabilir ince film üretimi, demet kaynağının kontrol edilebilmesi ile doğrudan ilişkilidir. Hiden XBS, deposition sırasında birden çok demet kaynağının gerçek zamanlı incelenmesine olanak sağlamaktadır.

Hiden XBS, eşsiz 70°'lik konik yapısı ile, çoklu demet kaynaklarının simültane olarak görüntülenmesi için tasarlanmış bir quadrupole kütle spektrometresidir. Her vakum proses  haznesine göre özel olarak üretilen demet inlet bölmesi ve su soğutmalı tam shroud probu ile hataya imkan vermeden oldukça hassas analizleri yüksek tekrarlanabilirlitle gerçekleştirebilmektedir. Yüksek kontaminasyon dayanamına sahip bu sistem ile aynı zamanda yüksek hassasiyette helyum kaçak testi yapmak da mümkün olabilmektedir.

 

Genel Bakış
Özellikler
Uygulamalar
Broşür
Genel Bakış
Özellikler
m_uygulama-b

TERRALAB©  . Terralab Laboratuvar Malzemeleri San. ve Tic. A.Ş. .  Tic.Sicil. 125710 .  info@terralab.com.tr  . T: +90 312 472 73 96  .  F: +90 312 472 73 98  . Çetin Emeç Bulvarı 1328. Sokak 14/9 A.Öveçler  06460 Ankara

Terralab
Laboratuvar
Malzemeleri
San.Tic. A.Ş

Terralab - 17.YIL