-  Yüksek hassasiyetli ikincil iyon tayin sistemi

-  Üçlü filtre quadrupole ile 300 akb (510 akb opsiyonel) standart kütle aralığı analizi

-  ± 5 Angstrom hassasiyette çoklu tabaka incelemesinde tabaka bitiş noktası (end-point) ölçümü

-  24 saatlik çalıştırmada bile ±0.5 %'lik yüksek hassasiyet

-  Kaçak deteksiyonu ve kalıntı gaz analizi için entegre RGA modu

IMP-EPD, ion beam etch proseslerinde ikincil iyonların analizi için tasarlanmış, yüksek kaliteli malzemeden üretilmiş kütle spektrometre sistemidir. Sistem, proses bazlı algoritma geliştirilmesi ile optimum proses kontrolü için tasarlanmış yazılımı ile etkin çözümler sunmaktadır.

Ion Beam Etch uygulamaları ve layer by layer kaplamalarda, kaplama malzemelerinin end-point görüntülenmesinde gerçek zamanlı izleme imkanı sunan IMP-EPD, Hiden'ın özellikle manyetik ince filmler, yüksek sıcaklık süperiletkenler ve III-V yarıiletkenlerde ikincil iyon tayinininde sunduğu hassas ve etkili analiz sistemidir.

 

Genel Bakış
Özellikler
Uygulamalar
m_genel-b
m_ozellikler-b
m_uygulama-b
m_brosur-b
Hiden_Analytical_Plasma_IMP-EPD
www.hidenanalytical.com

İyon Aşındırma Kontrolü ve
optimum proses kalitesi için
deteksiyon sistemi

IMP-EPD

TERRALAB©  . Terralab Laboratuvar Malzemeleri San. ve Tic. A.Ş. .  Tic.Sicil. 125710 .  info@terralab.com.tr  . T: +90 312 472 73 96  .  F: +90 312 472 73 98  . Çetin Emeç Bulvarı 1328. Sokak 14/9 A.Öveçler  06460 Ankara

Terralab
Laboratuvar
Malzemeleri
San.Tic. A.Ş

Terralab - 17.YIL