- 200, 300, 500 ya da 100 akb kütle aralığında analiz imkanı

- 5 PPB'den %100 konsantrasyona kadar geniş analiz aralığı

- Dakikada 500 veri işleyip sunabilme özelliği

- Standart inlet basıncı (10-4 mbar opsiyonel)

- UHV haznesinde yüksek hassasiyette artık gaz analizi (RGA) yapabilme

- Gelişmiş Gaz/buhar örnekleme sistemi ile geniş basınç aralığında (10-3 ila 5 bar aralığında) çalışabilme

Hiden HPR-30, vakum proseslerinde gazların analizleri için tasarlanmış, aynı zamanda CVD, MOCVD, plazma etching gibi sistemlerle de çalışabilen artık gaz analiz sistemidir.

HPR-30 ayarlanabilir yüksekliğe sahip ayak sistemine oturtulmuş, böylelikle birçok vakum sistemi ile uyumlu oluşu,  PPB mertebesinde hassas gaz analizi yapabilmesi özelliği, vakum haznesinde kaçak gaz kontrolü yapabilmesi ve kontaminasyon kontrolünde etkili sonuçlar verebilmesi ile vakum proseslerinde kullanılabilmektedir.

Ultra hızlı örnekleme yapabilme özelliği, prosesten herhangi bir gaz çıkışına izin vermeden, gerçek zamanlı olarak analizler yapılabilmesini sağlamaktadır.

 

 

Genel Bakış
Genel Bakış
Özellikler
Özellikler
Uygulamalar
Uygulamalar
Broşür
hiden_logo

 

Hiden_Analytical_HPR-30

Vakum proses analizlerinde
Artık Gaz Analizi

HPR-30

www.hidenanalytical.com

TERRALAB©  . Terralab Laboratuvar Malzemeleri San. ve Tic. A.Ş. .  Tic.Sicil. 125710 .  info@terralab.com.tr  . T: +90 312 472 73 96  .  F: +90 312 472 73 98  . Çetin Emeç Bulvarı 1328. Sokak 14/9 A.Öveçler  06460 Ankara

Terralab
Laboratuvar
Malzemeleri
San.Tic. A.Ş

Terralab - 17.YIL